当一束光入射到薄膜表面时，薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉，干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关，反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度。
反射膜厚仪是一种非接触式、无损的、快速的光学薄膜厚度测量技术。
测量范围: 1 nm - 1 mm
波长范围: 200 nm -8000 nm
光斑尺寸:2um -3 um
标准配置中包含：
1. 主机(光谱仪，光源，电线)
2. 反射光纤
3. 样品台及光纤适配器
4. TFCompanion软件
5. 校准套装
6. 测试样品，200nm晶圆
广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中：
半导体晶圆，薄膜太阳能电池，液晶平板，触摸屛，光学镀膜，聚合物薄膜等
半导体制造：· 光刻胶 · 氧化物 · 氮化物
光学镀膜：· 硬涂层 · 抗反射涂层 · 滤波片
生物医学：· 生物膜厚度 · 硝化纤维
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